产品技术说明书

（高纯氧化铝抛光液PGE-31XX系列）

产品描述：

该产品以高纯氧化铝为主要材料，经严格控制粒径、改善粒子表面特性，利用化学增强抛光原理，适合于化学机械抛光（CMP）；

该产品悬浮体系稳定，被抛光工件表面稳定，粗糙度低，进而全面提升产品表面质量，降低总体生产成本。与传统抛光体系相比，抛光液使用简便、抛光效率高、抛光表面易清洗、无抛光设备腐蚀、在抛光机以及抛光垫上无沉积等优点。

应用领域：  

蓝宝石、半导体材料和合金基材等材料的CMP。

陶瓷、铁类金属、铝和其它金属等材质的抛光。

物化参数：

产品特点：

¤颗粒分散均匀，不团聚，有利于提高抛光效率和精度；

¤颗粒粒径分布适中，最大程度提高抛光效率和精度；

¤低 VOC 配方，使用过程避免粉尘产生，关注环保和人体健康安全。

使用建议：

¤开罐后需充分搅拌均匀,然后根据要求稀释后使用；

¤稀释比例建议：1：5-1：10；

¤现场需保持清洁无扬尘，防止受到抛光液配制和使用过程遭到污染；

¤循环使用粘度增大时,应予以重新配制新的抛光液，以免损伤工件，降低良率。

包装规格：

    1kg/瓶、5kg/瓶、25kg/桶。其它桶装重量可以定制。

储存条件：

密闭存放于阴凉干燥通风处，防水、防漏、防晒、防高温、防霜冻。

保质期限：   6个月；

联系人：王先生13790403958  QQ：67773427

注意事项：

¤产品须在通风良好条件下使用，佩戴必要的安全防护，避免施工过程中人体大量吸入，禁止食用；

¤如与眼睛或皮肤接触，请用大量清水冲洗；

¤在使用本品时，请勿进食或吸烟；

¤小心使用本品，使用前和使用时请注意。此外，还应遵循有关国家或当地政府规定的安全法规。

（详细安全指引参阅相应MSDS）

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