超微粉末的制备方法有物理法和化学方法两类。物理方法主要有蒸发凝聚法、溅射法、电爆炸丝法、低能团聚束沉淀法，化学方法主要包括也想沉淀法、醇盐水解法、溶胶凝聚法、微乳液法、水热法、溶液蒸发法、溶液还原法和化学气相反应法。下面就蒸发凝聚法做简单举例。 

        蒸发凝聚法主要方法原理有：（1）低压惰性气体中蒸发法，是在低压惰性气体Ar或He气中蒸发金属或合金，蒸气原子在于惰性气体原子碰撞过程中失去能量，发生凝聚形核，从而形成超微粉。（2）活性氢-熔融金属反应蒸发法，在惰性气体Ar和H2的混合气体中采用放电电弧或等离子电弧加热金属或合金，电弧作用下被分解为原子态的氢溶解到金属或合金熔液中，利用氢在熔融金属中的溶解、析出过程，强制蒸发金属，形成超微粉末。（3）流动油面上真空蒸发法，在高真空中蒸发金属，让金属蒸气在流动油面中冷却凝聚形核，生成极细的超微粉末，并且保持其理想的分散状态。（4）通电加热蒸发法，将石墨电极和金属通电加热，金属熔融变成蒸气并和高温石墨反应生成碳化物蒸气，并冷凝变成超微粉末。（5）阴极溅射法，冷阴极采用高能粒子冲击，从非熔融状态的印记金属或合金上蒸发产生气体原子，通过凝聚形核而生成超微粉末，热阴极采用等离子、电弧加热，从熔融金属表面生成超微粒子。